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用于高壓應(yīng)用中安全可靠壓力測量的電子儀器

來源:上海自動化儀表有限公司作者:發(fā)表時間:2019-08-13 09:29:00


      高壓應(yīng)用對測量儀器極其重要,并且很難找到能夠承受應(yīng)變同時保持高響應(yīng)性的傳感器。我們公司的電子壓力儀器解決了這個問題。
      一些機械儀表,例如具有螺旋形(而不是C形管)波登管的機械儀表,  能夠承受高壓并且能夠提供精確的測量,特別是對于局部指示或作為冗余儀器。但是,對于數(shù)據(jù)捕獲和更好的控制,該過程需要電子壓力傳感器。
 

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電子壓力測量背后的原理
電子壓力測量背后的工作原理
      在電子壓力傳感器中,柔性隔膜將過程與實際傳感器元件分開。壓力推動該隔膜,該隔膜設(shè)計成在整個壓力范圍內(nèi)以一致的方式偏轉(zhuǎn)。然后,傳感器通過將隔膜的應(yīng)變或壓縮轉(zhuǎn)換為有意義的電子信號來測量壓力。這是阻力測量的原理。
三種電子壓力傳感器
      選擇合適的電子傳感器對于獲得準(zhǔn)確可靠的測量至關(guān)重要。三種最常見的傳感器元件類型是金屬薄膜,陶瓷薄膜和壓電電阻。前兩種傳感器基于電阻壓力測量原理。第三種類型依賴于半導(dǎo)體材料的電阻率的變化。下表比較了這三種類型的一些功能。
 

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用于高壓應(yīng)用的金屬薄膜傳感器
      在研究這三種電子傳感器的特性和功能時,很明顯只有金屬薄膜傳感器才適用于低密度聚乙烯(LDPE)和其他高壓,高振動應(yīng)用。
 

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金屬薄膜傳感器的橫截面
      在金屬薄膜傳感器中,惠斯通電橋電阻器布置結(jié)合到電路層。然后將這兩層夾在絕緣層之間。壓力傳感器采用化學(xué)/物理工藝和光刻蝕刻技術(shù)在特殊潔凈室和真空或惰性氣氛下制造,而不是采用將傳感器粘合或焊接到隔膜上的常用方法。這導(dǎo)致與傳感器主體的良好結(jié)合,可承受極端溫度和振動。
      使用有限元法(FEM)模擬設(shè)計其金屬薄膜傳感器,以避免1)局部過載和相應(yīng)的塑性變形,以及2)膜片偏轉(zhuǎn)超出材料屈服點。為了確保它們不會在高壓操作下失效,我們公司將其傳感器通過一系列嚴(yán)格的測試,包括10 8次 負(fù)載循環(huán)疲勞測試。

 

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